真空耙式干燥机装置用蒸汽夹套间接加热物料，并在高真空下排气，因此特别适应不耐高温、在高温下易于氧化的物料或干燥时容易产生粉末的物料（如各种燃料），以及干燥过程中排除的蒸汽或溶剂必须回收的物料干燥作业。真空耙式干燥机中被干燥物料含水量或溶剂量较高达到90%，而较低的只有15%。被干燥物料有浆状、膏状的、粒状的、粉状的，也可以是纤维状的。这些物料干燥后的含水率一般达到0.1%，甚至0.05%。真空耙式干燥机过程需要消耗大量热能，为了节省能量，某些湿含量高的物料、含有固体物质的悬浮液或溶液一般先经机械脱水或加热蒸发，再在干燥机内干燥，以得到干的固体。在干燥过程中需要同时完成热量和质量(湿分)的传递，以保物料表面湿分蒸汽分压(浓度)高于外部空间中的湿分蒸汽分压，以保热源温度高于物料温度。